微電子行業(yè)用的是哪種水處理設備
文章作者: 宏森環(huán)保
微電子行業(yè)由器件和微電子材料等組成，器件和微電子材料細分為外延片、SOI片、硅拋光片、IC制造等，這些器件的生產(chǎn)都需要用到工業(yè)從純水，如生產(chǎn)期間用的純水水質(zhì)不達標，則會(huì )直接影響設備的使用壽命，下面了解一下微電子行業(yè)用的是哪種水處理設備？
首先：
水的電阻率：按照我國有關(guān)用水標準(GB/T11446.1-1997)，大規模集成電路元器件的生產(chǎn)的用水水質(zhì)一般要求電阻率大于18MO-CM。
溫馨提示：國家的有關(guān)用水標準(GB/T11446.1-1997)水的電阻率分為四個(gè)等級：四級為電阻率0.5MO-CM、三級電阻率12MO-CM、二級電阻率不低于15MO-CM、一級最高電導率18MO-CM以上。
純水脫鹽率：微電子行業(yè)做的器件一般都會(huì )使用到電腦、耳機、充電寶、電視機、手機等的電子設備，因此要求純水的脫鹽率應高達99%以上。
純水樹(shù)脂：電子行業(yè)用的純水樹(shù)脂要求在95%以上。
其次：
超純水設備：采用的是預處理、反滲透技術(shù)、edi超純水技術(shù)以及后級處理等方法的水處理工藝，可制取出水質(zhì)電阻率0.5~18.2MΩ.CM或以上，
脫鹽率：edi超純水技術(shù)可去除水中99%左右的鹽成分。
超純水設備可以將水中的導電介質(zhì)、細菌、礦物質(zhì)、膠體物質(zhì)、氣體、微生物等去除至很低程度的水處理設備。
因此微電子行業(yè)的工業(yè)純水是可以用超純水設備制取的。
