微電子材料行業(yè)用的水處理設備
文章作者: 宏森環(huán)保
微電子材料和器件作為微電子產(chǎn)業(yè)的基礎,微電解材料的制造關(guān)系著(zhù)電子設備使用壽命的長(cháng)短,微電子材料分為分立器件、光電器件、集成電路器件和傳感器等,這一類(lèi)的工業(yè)用到的純水需要采用專(zhuān)業(yè)的水處理設備,今天來(lái)了解一下關(guān)于微電子材料行業(yè)用的水處理設備。
微電子材料需要用到電子行業(yè)專(zhuān)用的超純水制備裝置,集成電路芯片、液晶顯示、高精度線(xiàn)路板、各種電子器件、微電子工業(yè)、半導體等行業(yè)都是可以用到電子超純水設備。
微電子水處理設備采用離子交換技術(shù)、兩級反滲透水處理技術(shù)、高效反滲透加EDI水處理技術(shù)制取出水質(zhì)為18.2M *cm。
兩級反滲透水處理工藝流程:原水預處理→電動(dòng)閥→多介質(zhì)過(guò)濾器→活性炭過(guò)濾器→軟化水器→中間水箱→低壓泵→精密過(guò)濾器→一級反滲透主機→PH調節→混合器→二級反滲透主機(反滲透膜表面帶正電荷)→純水箱→純水泵→微孔過(guò)濾器→用水對象。
采用反滲透加離子交換技術(shù)第一次的投資比采用離子交換樹(shù)脂方式要稍高,但是離子再生周期相對要長(cháng),因此耗費的酸堿比單純采用離子樹(shù)脂的方式要少很多,這是目前算比較經(jīng)濟與流行的一種工藝。
對于微電子材料行業(yè)的水質(zhì)要求需達到國家有關(guān)用水標準(GB/T11446.1-1997)執行,因此選擇水處理設備選購很關(guān)鍵,如對于電子材料的純水設備還有疑問(wèn)的可以到宏森環(huán)保進(jìn)行在解答疑惑。